工具顯微鏡一般是通過主顯微鏡瞄準(zhǔn)工件影像進(jìn)行測(cè)量的，它以影像法軸切法、接觸法和干涉法按平面直角坐標(biāo)，極坐標(biāo)及圓柱坐標(biāo)精確地測(cè)量長(zhǎng)度和角度，并可檢驗(yàn)復(fù)雜的幾何形狀，是常用的一種光學(xué)計(jì)量?jī)x器。工具顯微鏡工作原理是：將測(cè)件置于照明系統(tǒng)中，通過帶有正象棱鏡的中央顯微鏡，經(jīng)物鏡放大，將影像顯于目鏡分劃板上使與目鏡分劃板上的各標(biāo)記進(jìn)行瞄準(zhǔn)定位，最后借助于縱橫向讀數(shù)系統(tǒng)，確定兩次定位的坐標(biāo)位置，從而達(dá)到測(cè)量的目的。

　　工具顯微鏡的使用步驟：

　　1、測(cè)量前檢查工具顯微鏡是否處于正常工作狀態(tài)。

　　2、測(cè)量方法的選擇：

　　分析測(cè)量特點(diǎn)，運(yùn)用測(cè)量原理，選擇測(cè)量基準(zhǔn)及瞄準(zhǔn)方式，根據(jù)適當(dāng)?shù)臏y(cè)量條件及測(cè)量誤差的分析而確定測(cè)量方法，以保證制造出質(zhì)量合格的零件及產(chǎn)品。測(cè)量方法還得講究效益、降低成本。

　　3、測(cè)件清洗

　　把測(cè)件的基準(zhǔn)和被檢的點(diǎn)、棱邊、面、孔、圓弧等上的毛刺、鐵屑及油污清洗干凈。

　　4、測(cè)件恒溫

　　測(cè)件和工具顯微鏡應(yīng)同在20℃情況下才能進(jìn)行測(cè)量，應(yīng)當(dāng)恒溫在20℃±1℃的范圍內(nèi)，否則就有誤差。溫度不同時(shí)，所引起的誤差可用下列公式計(jì)算：

　　△L=L[αp(Tp-20)-αn(Tn-20)]

　　式中：△L為測(cè)件與基準(zhǔn)件線膨脹系數(shù)不同且不同一溫度測(cè)量而引起的測(cè)量誤差。

　　αp和Tp為測(cè)件的線膨脹系數(shù)和溫度。

　　αn和Tn為基準(zhǔn)件的線膨脹系數(shù)和溫度。

　　假如測(cè)件與基準(zhǔn)件溫度相同，則公式可簡(jiǎn)化成：

　　△L=L(αp-αn)(T-20)

　　也可以根據(jù)上述公式反過來確定工具顯微鏡測(cè)件應(yīng)恒溫到什么程度。

　　5、測(cè)量需要的專用工具應(yīng)事先準(zhǔn)備好，如芯棒、量棒、刀口尺、平尺、墊鐵及各種扳手等。